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BD-86A型半导体电阻率测试仪

  BD-86A型半导体电阻率测试仪是我厂推出的最新的普及型半导体电阻率测试仪器,BD-86A型半导体电阻率测试仪本仪器是根据四探针原理,适合半导体器材厂,材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率,方块电阻(簿层电阻),也可以用作测量金属薄层电阻,经过对用户、半导体厂测试的调查,根据美国ASTM标准的规定,在电路和探头方面作了重大的修改和技术上的许多突破,它更适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要,成为普及型的电阻率测试仪,具有测量精度高,稳定性好,输入阻抗高,使用方便、价格低廉等特点。

  仪器主要技术指标:

  1.测量范围:电阻率10-3—103Ω-cm,分辩率为 10-4Ω-cm ,可扩展到105Ω-cm

  方块电阻10-2—104Ω/□,分辩率为10-3Ω/□,可扩展到106Ω/□

  薄层金属电阻10-4—105Ω,分辩率为10-4Ω

  2.可测半导体材料尺寸:直径Φ15—Φ125mm;?长度:150mm(可扩展500mm)

  3.测量方式:轴向、断面均可

  4.数字电压表:(1)量程:20mV(分辩率:10μV)、200mV、2V

  (2)测量误差:±0.3%读数±1字

  (3)输入阻抗:大于108Ω

  (4)显示3 1/2 位红色发光二极管(LED)数字显示

    0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示

  5.恒流源:由交流供电,具有良好的防泄漏隔离功能

  (1)直流电流:0—100mA连续可调

  (2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

  (3)分辩率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

  (4)电流误差:±0.3%读数±2字

  6.电性能模拟考核误差:<±0.3%符合ASTM指标

  7.测试探头:(1)探针机械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指标

  8.电源:交流220V±10%?50HZ或60HZ?功率消耗< 30W

  9.电气箱外形尺寸:119×440×320mm