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GL-1型二探针单晶硅及多晶硅测试仪简介

  本仪器主要用于测量大直径的单晶硅和多晶硅的电阻率分布情况,以便硅材料的切割和加工。

  为适应大规模集成电路的迅猛发展,特别是计算机芯片、内存的发展,越来越多GL-1型二探针单晶硅及多晶硅测试仪的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的单晶硅材料。目前,在美国、德国等先进的工业国家,均采用了二探针法,使用二探针检测仪来测量大直径单晶硅的电阻率分布情况。

  本仪器符合美国ASTM 《“F391-77”关于二探针测量硅单晶试验方法》的标准,是一种新型的半导体电阻率测试仪,适合半导体材料厂和器件厂用于二探针法精确测量单晶硅和多晶硅半导体棒状材料的体电阻率,从而进一步判断半导体材料的性能,指导和监视工艺操作,也可以用来测量金属材料的电阻,仪器具有测量精度高、稳定性好、结构紧凑、使用方便、造型美观等特点。也可以配四探针测试头作常规的四探针法测量硅晶体材料。

  仪器分为仪表电气控制箱、测试台、探头三部分,仪表电气控制箱由高灵敏度直流数字电压表、高抗干扰高隔离性能的电源变换装置、高稳定高精度恒流源和电气控制部分组成。测量结果由大型LED数字显示,零位稳定、输入阻抗高,并设有自校功能。在棒状材料使用二探针法测试时,具有系数修正功能,从面板输入相应的修正系数,可以直接读出电阻率,使用方便。测试台结构新颖,造型美观,可以方便地固定好大小任意尺寸的样品,并可以作逐点选择步进测量,也可以自由选择固定位置测量,电极活动自如,具备锁定装置,方便重复测量。另外还配置了二处记录板和转椅,测试探头能自动升降,探针为碳化钨材料,配置宝石轴承,具有测量精度高、游移率小、耐磨、使用寿命长特点。同时探头压力恒定并且可调整,以适合不同的材料。

  仪器主要技术指标:

  1.可测硅材料尺寸:

  直径Φ25~Φ150mm满足ASTM F-397的技术要求。

  长度:100~1100mm.

  2.测量方式:轴向测量,每隔10mm测量一点。

  3.测量电阻率范围:10-3~103Ω-cm,可扩展到105Ω-cm。

  4.数字电压表:

  (1)量 程:0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

  (2)测量误差:±0.3%读数±2字

  (3)输入阻抗:0.2mV和2mV档>106Ω

  20mV档及以上>108Ω

  (4)显 示:31/2位LED数字显示,范围0~1999。

  5.恒流源:

  (1)电流输出:直流电流0~100mA连续可调。

  (2)量 程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

  (3)电流误差:±0.3%读数±2字

  6.二探针测试装置:

  (1)探针间距:4.77mm

  (2)探针机械游移率:0.3%

  (3)探针压力:0~2kg可调

  (4)测试探头自动升降

  7.二探针测试台

  (1)测试硅单长度:100-1100mm

  (2)测试点间距:10mm

  (3)测试台有慢、快二种移动速度,快速移动速度为1000mm/分(均匀

  手动)

  8.电源:交流220V±10%,50HZ±2HZ,消耗功率<150W